Mudel
Vdv31ua
Sissejuhatus
• UHP diafragmaklapp
• Roostevabast terasest 316L keha söövitavate gaaside jaoks
• Sisselaskesurve max 300 riba
• Vasak või parem kangi suund väljalülitamiseks
• Lai valik sisselaskeid ja väljalaskeid
• Metallist metalli tihendi atmosfääri
Tehnilised parameetrid
| Max. Töösurve | 4500 psig (300 baar) |
|
| Max. Töötemp | 14 kraadi F ~ 104 kraadi f (-10 kraad ~ 40 kraadi) | |
| Materjalid | ||
| Keha | 316L | |
| Diafragma | Elgiloy® | |
| Istmepakett | Pctfe | |
| Käepide | Al | |
| Sisemine lekketoetus | 1x10^-9 mbar i/s he | |
| Väline lekketoetus | 1x10^-9 mbar i/s he | |
| Vooluhulk | Cv =0. 1 | |
| Avalikkus | Ф2.7mm | |
| Kaal | umbes. 0. 25kg | |
VDV32UB
Sissejuhatus
• Sobib suure puhtuse, tuleohtlike või toksiliste vedeliku gaaside jaoks
• Otsene diafragma konstruktsioon kõrgema tihendusega
jõudlus, tähelepanuväärne vastupidavus, kompaktsus ja osakesed
ja surnud ruumivaba jõudlus
• Klapi avatud ja suletud optimeerimine on lühidalt nähtav
• Suurepärased gaasi nihkeomadused
• Standardne istmematerjal on pctfe, polüimiid/PFA on valik
Tehnilised parameetrid
| Max. Töösurve | 150 psig (10 baari) |
|
| Pneumaatiline töörõhk | 58 ~ 87psig (4-6 riba) | |
| Max. Töötemp | 14 kraadi F ~ 104 kraadi f (-10 kraad ~ 40 kraadi) | |
| Materjalid | ||
| Keha | 316L | |
| Diafragma | Elgiloy® | |
| Istmepakett | Pctfe | |
| Käepide | Al | |
| Sisemine lekketoetus | 1x10^-9 mbar i/s he | |
| Väline lekketoetus | 1x10^-9 mbar i/s he | |
| Vooluhulk | 1/4 "cv =0. 3 3/8" 1/2 "cv =0. 65 | |
| Kaal | umbes. 0. 27kg | |
Tootepilt
VDV33UB
Sissejuhatus
• Sobib pooljuhis ultrapuur-, tuleohtlike või toksiliste vedelike joonte jaoks
tootmisseadmed ja rajatised
• Otsene diafragma konstruktsioon kõrgema tihendusega
jõudlus, tähelepanuväärne vastupidavus, kompaktsus ja osakesed ning
Surnud ruumivaba jõudlus
• Klapi avatud ja suletud asend on lühidalt nähtav
• Suurepärased gaasi nihkeomadused
• EP -ravi on kõigi niisutatud pindade jaoks standardne
• Standardne istmematerjal on pctfe, polüimiid/PFA on valik
Tehnilised parameetrid
| Max. Töösurve | 3000 psig (206 baari) |
|
| Pneumaatiline töörõhk | 58 ~ 87psig (4-6 riba) | |
| Max. Töötemp | 14 kraadi F ~ 104 kraadi f (-10 kraad ~ 40 kraadi) | |
| Pinnaviimistlus | 10 μin. RA | |
| Materjalid | ||
| Keha | 316L | |
| Diafragma | Elgiloy® | |
| Istmepakett | Pctfe | |
| Käepide | Al | |
| Sisemine lekketoetus | 1x10^-9 mbar i/s he | |
| Väline lekketoetus | 1x10^-9 mbar i/s he | |
| Vooluhulk | 1/4 "cv =0. 1 3/8" 1/2 "cv =0. 5 | |
| Kaal | umbes. 0. 27kg | |
Toodete kirjeldus
Vdv52ub
Sissejuhatus
• Sobib pooljuhis ultrapuur-, tuleohtlike või toksiliste vedelike joonte jaoks
tootmisseadmed ja rajatised
• Otsene diafragma konstruktsioon kõrgema tihendusega
jõudlus, tähelepanuväärne vastupidavus, kompaktsus ja osakesed ning
Surnud ruumivaba jõudlus
• Klapi avatud ja suletud asend on lühidalt nähtav
• Suurepärased gaasi nihkeomadused
• EP -ravi on kõigi niisutatud pindade jaoks standardne
• Standardne istmematerjal on pctfe, polüimiid/PFA on valik
Tehnilised parameetrid
| Max. Töösurve | 300 psig (20 baari) |
|
| Pneumaatiline töörõhk | 58 ~ 87psig (4-6 riba) | |
| Max. Töötemp | 14 kraadi F ~ 104 kraadi f (-10 kraad ~ 40 kraadi) | |
| Pinnaviimistlus | 10 μin. RA | |
| Materjalid | ||
| Keha | 316L | |
| Diafragma | Elgiloy® | |
| Istmepakett | Pctfe | |
| Käepide | Al | |
| Sisemine lekketoetus | 1x10^-9 mbar i/s he | |
| Väline lekketoetus | 1x10^-9 mbar i/s he | |
| Vooluhulk | 1/4 "cv =0. 3 3/8" 1/2 "cv =0. 65 | |
| Kaal | umbes. 0. 27kg | |
Tootepilt
VDV22UB
Sissejuhatus
• Sobib pooljuhis ultrapuur-, tuleohtlike või toksiliste vedelike joonte jaoks
tootmisseadmed ja rajatised
• Otsene diafragma konstruktsioon kõrgema tihendusega
jõudlus, tähelepanuväärne vastupidavus, kompaktsus ja osakesed ning
Surnud ruumivaba jõudlus
• Klapi avatud ja suletud asend on lühidalt nähtav
• EP -ravi on kõigi niisutatud pindade jaoks standardne
• Standardne istmematerjal on pctfe, polüimiid/PFA on valik
Tehnilised parameetrid
| Max. Töösurve | 150 psig (10 baari) |
|
| Pneumaatiline töörõhk | 58 ~ 87psig (4-6 riba) | |
| Max. Töötemp | 14 kraadi F ~ 104 kraadi f (-10 kraad ~ 40 kraadi) | |
| Pinnaviimistlus | 10 μin. RA | |
| Materjalid | ||
| Keha | 316L | |
| Diafragma | Elgiloy® | |
| Istmepakett | Pctfe | |
| Käepide | Al | |
| Sisemine lekketoetus | 1x10^-9 mbar i/s he | |
| Väline lekketoetus | 1x10^-9 mbar i/s he | |
| Vooluhulk | 1/4 "cv =0. 3 3/8" 1/2 "cv =0. 65 | |
| Kaal | umbes. 0. 27kg | |
VDV36
Sissejuhatus
• Suurepärased degaseerimisomadused saavutatakse läbi
minimeeritud vooluteed, ühendades 2 VDV32, VDV33
UHP diafragma ventiilid koos ühe klapi korpuses.
• Vähem keevisõmblusi tavaliste klapi joondamiste kohal
• Vähendab kosmosevajadusi
• Kompaktne torude paigutus
• Surnud kosmosevaba konfiguratsioon
Tehnilised parameetrid
| Max. Töösurve | 150 psig (10 baari) 3000 psig (206 baar) valikuline |
|
| Pneumaatiline töörõhk | 58 ~ 87psig (4-6 riba) | |
| Max. Töötemp | 14 kraadi F ~ 104 kraadi f (-10 kraad ~ 40 kraadi) | |
| Pinnaviimistlus | 10 μin. RA | |
| Materjalid | ||
| Keha | 316L | |
| Diafragma | Elgiloy® | |
| Istmepakett | Pctfe | |
| Käepide | Al | |
| Sisemine lekketoetus | 1x10^-9 mbar i/s he | |
| Väline lekketoetus | 1x10^-9 mbar i/s he | |
| Vooluhulk | Cv =0. 3 (madalrõhk) cv =0. 1 (kõrge rõhk) | |
| Kaal | umbes. 0. 27kg | |
VDV37
Sissejuhatus
• Sobib ultrapuuriks, tuleohtlike või toksiliste vedelike joonte jaoks
pooljuhtide tootmisseadmed ja rajatised
• Otsene diafragma konstruktsioon kõrgema tihendusega
jõudlus, tähelepanuväärne vastupidavus, kompaktsus ja
osakeste vaba jõudlus
• Klapi avatud ja suletud asend on lühidalt nähtav
• Suurepärased gaasi nihkeomadused
• EP -ravi on kõigi niisutatud pindade jaoks standardne
• Tavaline istmematerjal on pctfe, polüimiid on valik
Tehnilised parameetrid
| Max. Töösurve | 250 psig (17 baar) |
|
| Pneumaatiline töörõhk | 80 ~ 100psig (5. 5-6. 8bar) | |
| Max. Töötemp | -40 kraad f ~ 159 kraad f (-40 kraad ~ 71 kraad) | |
| Pinnaviimistlus | 10 μin. RA | |
| Materjalid | ||
| Keha | 316L | |
| Diafragma | Elgiloy® | |
| Istmepakett | Pctfe | |
| Käepide | Al | |
| Sisemine lekketoetus | 1x10^-9 mbar i/s he | |
| Väline lekketoetus | 1x10^-9 mbar i/s he | |
| Vooluhulk | Cv =2. 8 | |
| Kaal | umbes. 1,36 kg | |
VDV38
Sissejuhatus
• Sobib ultrapuuriks, tuleohtlike või toksiliste vedelike joonte jaoks
pooljuhtide tootmisseadmed ja rajatised
• Otsene diafragma konstruktsioon kõrgema tihendusega
jõudlus, tähelepanuväärne vastupidavus, kompaktsus ja
osakeste vaba jõudlus
• Klapi avatud ja suletud asend on lühidalt nähtav
• Suurepärased gaasi nihkeomadused
• EP -ravi on kõigi niisutatud pindade jaoks standardne
• Tavaline istmematerjal on pctfe, polüimiid on valik
Tehnilised parameetrid
| Max. Töösurve | 3000 psig (206 baari)/ 1300 psig (90bar) |
|
| Käivitussurve | 70 ~ 110 psig (5-8 riba) | |
| Max. Töötemp | -40 kraad f ~ 159 kraad f (-40 kraad ~ 71 kraad) | |
| Pinnaviimistlus | 10 μin. RA | |
| Materjalid | ||
| Keha | 316L | |
| Diafragma | Elgiloy® | |
| Istmepakett | Pctfe | |
| Käepide | Al | |
| Sisemine lekketoetus | 1x10^-9 mbar i/s he | |
| Väline lekketoetus | 1x10^-9 mbar i/s he | |
| Vooluhulk | käsitsi täiturmehhanism {{0}}. 0 | |
| pneumaatiline ajam | Cv {{0}}. 0 (90bar) / cv =0. 7 (206 bar) | |
| Kaal | umbes. 1,27 kg | |
VDV39
Sissejuhatus
• Sobib pooljuhtide valmistamisseadmetes ja rajatistes ülikergete, tuleohtlike või toksiliste vedelike joonte jaoks
• otsene diafragma konstruktsioon koos parema tihendamise, tähelepanuväärse vastupidavuse, kompaktsuse ja
osakesed ja surnud ruumivaba jõudlus
• Toode on valmistatud vastavalt VS001A protsessi spetsifikatsioonile
• Klapi avatud ja suletud asend on lühidalt nähtav
• Suurepärased gaasi nihkeomadused
• EP -ravi on kõigi niisutatud pindade jaoks standardne
• Tavaline istmematerjal on pctfe, polüimiid on valik
Tehnilised parameetrid
| Max. Töösurve | 270 psig (18,6 baar) |
|
| Pneumaatiline töörõhk | 80 ~ 100psig (5. 5-6. 8bar) | |
| Max. Töötemp | 14 kraadi F ~ 104 kraadi f (-10 kraad ~ 40 kraadi) | |
| Pinnaviimistlus | 10 μin. RA | |
| Materjalid | ||
| Keha | 316L | |
| Diafragma | Elgiloy® | |
| Istmepakett | Pctfe | |
| Käepide | Al | |
| Sisemine lekketoetus | 1x10^-9 mbar i/s he | |
| Väline lekketoetus | 1x10^-9 mbar i/s he | |
| Vooluhulk | Cv =2. 8 | |
| Kaal | umbes. 1. 0 kg | |
Tootepilt
VDV40
Sissejuhatus
• Sobib pooljuhtide valmistamisseadmetes ja rajatistes ülikergete, tuleohtlike või toksiliste vedelike joonte jaoks
• otsene diafragma konstruktsioon koos parema tihendamise, tähelepanuväärse vastupidavuse, kompaktsuse ja
osakeste vaba jõudlus
• Toode on valmistatud vastavalt VS001A protsessi spetsifikatsioonile
• Klapi avatud ja suletud asend on lühidalt nähtav
• Suurepärased gaasi nihkeomadused
• EP -ravi on kõigi niisutatud pindade jaoks standardne
• Tavaline istmematerjal on pctfe, polüimiid on valik
Tehnilised parameetrid
| Max. Töösurve | 3000 psig (206 baari) |
|
| Käivitussurve | 70 ~ 110 psig (5-8 riba) | |
| Max. Töötemp | -40 kraad f ~ 160 kraad f (-40 kraad ~ 71 kraad) | |
| Pinnaviimistlus | 10 μin. RA | |
| Materjalid | ||
| Keha | 316L | |
| Diafragma | Elgiloy® | |
| Istmepakett | Pctfe | |
| Käepide | Al | |
| Sisemine lekketoetus | 1x10^-9 mbar i/s he | |
| Väline lekketoetus | 1x10^-9 mbar i/s he | |
| Vooluhulk | pneumaatiline ajam CV =0. 23 Käsitsi ajami CV =0. 29 | |
| Kaal | umbes. 1,27 kg | |
UHP ultra kõrge puhtusega diafragmaklapp tehniline kirjeldus
UHP diafragmaventiil (ülikõrge puhtus) on spetsiaalselt loodud tööstusharudele, millel on äärmiselt kõrge gaasi puhtusevajadus, näiteks pooljuhid, fotogalvaanilised ja biofarmatseutilised sektorid. See tagab lekkevaba ja saastumiseta gaasi kohaletoimetamise, mis vastab ülikergetele standarditele. Klapi põhiomadus on selle diafragma eraldamise disain, mis hoiab ära kontakti klapi varre ja söötme vahel, välistades täielikult tahkete osakeste vabanemise riski.
Põhifunktsioonid
Käsitsitüüp: Ideaalne madala sagedusega tööks või väikeste voolu stsenaariumide jaoks, millel on lihtne ja usaldusväärne disain. Kaasas ülitäpselt gradueeritud käteratas peenete reguleerimiseks.
Pneumaatiline tüüp: Integreeritud ajamiga (ühetoimeline/topelttoimeline), toetab PLC juhtimist ja avab/sulgub vähem kui 1 sekundiga, muutes selle sobivaks automatiseeritud tootmisliinideks ja kõrgsageduslikeks rakendusteks.
VCR (vaakumühenduse säilitamine): Metalli tihend, mis sobib ideaalselt ülikõrge vaakumi jaoks (vähem või võrdne 1 0 ⁻⁹ Torr) ja ultrapuurgaasisüsteemidega. Standardne 316L roostevabast terasest interjöör, mille RA on väiksem või võrdne 0,2 μm elektropoelse viimistlusega.
NPT (Riiklik toru niit): Kitsenev niittihend, vajab PTFE-linti või hermeetikut, mis sobib keskmise ja madala rõhu tööstusrakenduste jaoks.
Torude paigaldamine: SwageLok® ühilduv disain kiireks ühendamiseks ja paigaldamiseks. Ideaalne väikeste läbimõõduga süsteemide jaoks (1/8 "–1/2").
Rõhuvahemik: Vaakum kuni 1500 psig (kohandatud mudelid on saadaval kuni 6000 psig).
Voolukontroll: CV väärtused vahemikus 0. 02 kuni 2,5, keskmise jäägi vähendamiseks null surnud jalaklapi kere kujundusega.
Lekkemäär: Heeliumi lekkekiirus, mis on väiksem või võrdne 1 × 10⁻⁹ cc/sek, vastates poolf20 lekkestandarditele.
Kehamaterjal: ASTM A182 F316L ultra-madal süsiniku roostevaba teras EP-ga (elektropoliditud) + passiivse töötlemisega.
Diafragma: PTFE/FKM/PFA composite laminated diaphragm, with temperature resistance from -20°C to 180°C and lifespan >1 miljon tsüklit.
Pitseerimine: Täis metallist lõõtsa sekundaartihend välise lekkeriski kõrvaldamiseks.
Madalrõhk, mikrovood: VDV32 UA seeria, 1/4 "VCR -liides, CV =0. 02, sobib AR/N₂ kandegaasi juhtimiseks.
Keskmine ja kõrgrõhk: VDV52UB, VDV37 UB -seeria, 1/2 "NPT -liides, purske rõhk suurem kui 3000 psig, mis sobib söövitavate gaaside jaoks (CL₂/HCl).
Kõrge puhtuse nõuded: VDV31UA, VDV38UB, VDV40UB-seeria, täisvoolu EP + Plasma puhastamine, SIMS metalliioonide sisalduse analüüs<1 ppb.
Levinud probleemid ja küsimused ja vastused
Kuidas valida käsiraamatu või pneumaatilise vahel?
Käsitsi ventiilid sobivad silumiseks või hoolduseks, samal ajal kui pneumaatilised ventiilid vajavad solenoide ja õhuallikaid, mis sobivad ideaalselt automatiseeritud tootmisliinideks.
VCR ja NPT liidese ühilduvus?
VCR nõuab ülihea pitseerimiseks metallist tihendeid (nt nikkel/vask); Tuubliosali peaks vältima hermeetiku saastumist ja seda saab kõige paremini kasutada mittetundlike meediumite jaoks.
Mis mõjutab diafragma eluiga?
Sagedane lülitus, söövitav söötmed ja temperatuuri kõikumised kiirendavad vananemist. Diafragma on soovitatav asendada iga 2 aasta tagant või pärast 500, 000 tsüklit.
Kuidas kontrollida klapi puhtust?
See peab läbima poolf19 osakeste testimist (vähem või võrdne 5 osakese/ft³ @0. 1μm) ja GC-MS orgaaniliste jääkide analüüsiga.
Rakenduse stsenaariumid
Gaasi spetsiaalne kohaletoimetamine vahvli tehastes (Sih₄/NH₃)
Farmaatsiatööstus WFI (vesi süstimiseks) torustik
Analüütiliste instrumentide kandegaasisüsteemid (GC/ICP-MS)
Kuum tags: UHP diafragmaklapp, Hiina UHP diafragmaklapi tootjad, tarnijad
