VIGOUR>>VS001B fotogalvaanilise protsessi spetsifikatsioon
Ulatus
See dokument määratleb juhised, mida VIGOR Company kasutab fotogalvaaniliste (PV) rakenduste jaoks mõeldud roostevabast terasest toodete tootmiseks. Täieliku tooteteabe saamiseks tuleb seda dokumenti kasutada koos tootekataloogide, tehniliste bülletäänide ja aruannetega. Selle dokumendi rakendamine on piiratud märjaks saanud süsteemikomponentidega.
Disain
Tooted on loodud konkreetseid funktsionaalseid tööstusstandardeid silmas pidades. Kui kirjanduses leidub konkreetseid katsetulemusi, kohaldatakse järgmisi standardeid:
■ Niiskuse analüüs vastavalt standardile ASTM F1397 "Standardne katsemeetod niiskuse panuse määramiseks gaasijaotussüsteemi komponentide järgi"
■ Süsivesinike analüüs vastavalt standardile ASTM F1398 "Standardne katsemeetod süsivesinike kogupanuse määramiseks gaasijaotussüsteemi komponentide järgi"
■ Iooniline puhtus vastavalt standardile ASTM F1374 "Standardne katsemeetod sisepindade ioonsete/orgaaniliste ekstraheeritavate ainete määramiseks- IC/GC/FTIR gaasijaotussüsteemide komponentidele."
Materjalide juhised
Roostevaba teras on tööstuses{0}}eelistatud materjal gaasisüsteemides kasutatavate UHP toodete jaoks, kuna neil on korrosiooni- ja oksüdatsioonikindlus. AISI tüüpi 316L (UNS S31603) madala süsinikusisaldusega roostevaba terast kasutatakse kõige sagedamini tööstuses, kuna see on keevitus- või pingevabastuse järgselt teradevahelise korrosiooni suhtes vastupidav.
Roostevabast terasest vardavarud vastavad järgmistele standarditele:
■ ASTM A479, "Roostevaba teras ja kuumus{1}}kindlad vardad ja kujuga kateldes ja muudes surveanumates kasutamiseks"
■ ASTM A484, Roostevaba terase ja kuumus{1}}vastupidavate varraste, kangide ja sepiste üldiste nõuete spetsifikatsioon
■ ASTM A276, "Roostevaba teras ja kuumus{1}}kindlad vardad ja kujundid"
■ SEMI F20-0305, "Spetsifikatsioonid 316L roostevabast terasest vardale, sepistele, pressitud kujunditele, plaatidele ja torudele, mida kasutatakse üldotstarbeliste, kõrge puhtusastmega ja ülikõrge puhtusastmega pooljuhtide tootmise rakendustes."
■ Terase esmane töötlemine on kas argooni hapniku dekarburiseerimine (AOD) või vaakum-induktsioonsulatus (VIM). Niisutatud komponentide täiendavaks puhtuseks võib kasutada sekundaarset ümbersulatustoimingut, näiteks vaakumkaarümbersulatamist (VAR).
■ VIGOR on tugevdanud keemilise koostise{0}}elementide põhinõudeid, et muuta keemiline koostis ühtlasemaks; vaata tabelit 1.
Tabel 1: VIGORi spetsifikatsioonid, massiprotsent
Roostevabast terasest toodete kontrollimine hõlmab, kuid mitte ainult, järgmist:
■ Materjali vastavust kontrollitakse vastavalt ASTM A262 praktikale A "Austeniitsete roostevabade teraste teradevahelise rünnaku vastuvõtlikkuse tuvastamise standardpraktika".
■ Keemiline koostis on kontrollitud vastavalt standardile ASTM A751, "Terastoodete keemilise analüüsi katsemeetodid, praktikad ja terminoloogia".
■ Pinna kvaliteeti kontrollitakse ultraheliuuringuga vastavalt standardile ASTM E214, "Peegeldusmeetodil Impulss-pikilaineid kasutava sukeldatud ultrahelitestimise praktika" või Swageloki standardite kohaselt tehtud pöörisvoolutestiga.
■ Lisamised tuvastatakse JK-testi läbiviimisel vastavalt standardile ASTM E45, "Standardne tava terase lisamise sisalduse määramiseks, meetod A", mille hinnangud põhinevad plaadil I-r.
Tootmine ja pinnaviimistlus
Tootmise ajal jälgitakse hoolikalt mõõtmeid ja pinnaviimistlust. Igal töödeldud komponendil on äärmiselt peen pinnaviimistlus, sujuvad üleminekud, täielikult pühitud vooluteed ja nelinurksed keevisotsad, et minimeerida kinnijäänud või tekkivate osakeste arvu.
■ Pinna kareduse/viimistluse kriteeriumid põhinevad SEMI F19 "Roostevabast terasest komponentide märgade pindade pinnaseisundi spetsifikatsioonil" ja SEMI F37 protseduuridel "Gaasi jaotussüsteemi komponentide pinnakareduse parameetrite määramise meetod".
■ Ultra{0}}kõrge puhtusastmega roostevabast terasest toodete märgpinna karedus Ra on pärast elektrolüütilist poleerimist alla 8 μin (0,20 μm) ja märja pinna karedus Ra ilma elektrolüütilise poleerimiseta on alla 15 μin (0,40 μm).
■ Tootekataloogides avaldatud VIGOR kareduse numbrid viitavad protsessi keskmisele või kareduse väärtusele, mis esindab antud tootmisprotsessi aritmeetilist keskmist vastavalt SEMI F37-le.
■ Pinna karedust/viimistlust kontrollitakse sobiva profileerimisvahendiga vastavalt ASME B46.1-le. Mõõtmised võetakse liitmiku või klapiava maksimaalsest saadaolevast pikkusest, välja arvatud kitsenevad pinnad, ristumiskohad või keevisõmblused.
Elektropoleerimine ja passiveerimine
See jaotis puudutab ainult elektropoleeritud tooteid.
Liitmike ja klapikorpuste märjaks saanud pinnad on elektropoleeritud, et parandada pinnatingimusi ja moodustada korrosioonikindla kroomoksiidi pinnakiht. Pärast elektropoleerimist passiveeritakse kõik pinnad vaba raua eemaldamiseks.
■ Elektropoleerimisprotsessid põhinevad ASTM B912 "Standard Specification for Passivation of Stainless Steels using Elektrolihvimine" ja neid töödeldakse kohandatud kinnitustega.
■ Passiveerimis- ja -elektropoleerimiseelsed puhastusprotsessid põhinevad standardil ASTM A380, "Roostevabast terasest osade, seadmete ja süsteemide puhastamine, katlakivi eemaldamine ja passiveerimine".
■ Elektropoleerimise ja passiveerimise kontrollimine viiakse läbi vastavalt ASTM B912 "Standard Specification for Passivesation of Stainless Steels Using Electopolishing" punktis 6 toodud katsemeetoditele.
Elektrokeemiline kriitiline punktide tekke temperatuur
See jaotis puudutab ainult elektropoleeritud tooteid.
Elektrokeemilise kriitilise punktkorrosiooni (CPT) testi, mis põhineb ASTM G150-l, kasutatakse vastupidavuse määramiseks lokaalsele punktkorrosioonile. CPT test mõõdab temperatuuri, mille juures voolutihedus tõuseb määratud elektripotentsiaali juures kiiresti üle seatud piiri. Kasutatakse naatriumkloriidi lahust ja passiveerimispiirkonnas hoitakse elektripotentsiaali konstantsena. Korrosiooni kriitiline temperatuur peaks olema üle 10 kraadi.
Puhastamine ja kuivatamine
DI veepuhastussüsteem on väliskeskkonnale suletud ja seega piirab osakeste saastumist. Tooteid puhastatakse mitmeastmelise protsessina läbi kuumutatud ultrahelipesu, DI veega loputamise ja filtreeritud kuivatuskambri. Puhastusvahendid valitakse ASTM G127 järgi.
■ DI veekarakteristikud põhinevad ASTM D5127 Type E-3 juhistel, "Elektroonika- ja pooljuhtidetööstuses kasutatava ülipuhta vee standardjuhend".
Tabel 2: DI vee omadused
Kokkupanek ja testimine
Osade kaitsmiseks õhu kaudu leviva saastumise eest kaetakse osad ja transporditakse need kokkupanemiseks ja testimiseks otse rajatud puhastussüsteemist puhtasse töökambrisse.
Pakendamine ja identifitseerimine
■ Pakendamis- ja identifitseerimisprotseduurid vastavad roostevabast terasest toodetele käsitleva dokumendi SEMI E49.6 "Alamsüsteemi kokkupaneku ja testimisprotseduuride juhend{1}}Roostevabast terasest süsteemid" nõuetele.
■ tooted on pakendatud nii, et need oleksid saatmise ajal vabad välistest saasteainetest. Identifitseerimis- ja jälgitavusinfo on nähtav ilma toodet avamata.
