VIGOUR>>Teie usaldusväärne partner täiustatud gaasivarustussüsteemide alal
Kõrg-tehnoloogilistes tööstusharudes, kus täpsus, puhtus ja ohutus on vaieldamatu-, on usaldusväärne gaasitarne aluseks. VIGOR kavandab ja toodab kõikehõlmavaid gaasivarustussüsteeme, mis vastavad nendele kriitilistele nõudmistele, toetades innovatsiooni ja tootlikkust ülemaailmsetes teadus- ja tootmissektorites.
Spetsiaalne gaasirest
VGR seeria
- Pidev ja katkematu elektroonikagaaside ohutu tarnimine{0}}.
- Valikulised õhutus- ja tühjendusfunktsioonid koos turvarõhu vähendamisega.
- Klass 100 puhasruumi keevitatud koost.
- Valikuline PLC juhtimine sideliidesega, millele pääseb juurde intelligentne jälgimisplatvormi süsteem.
- Kõrgsurve / madala rõhu alarm heli- ja visuaalsete signaalidega, mis on võimeline hädaolukorras välja lülitama.
- Puutetundlik ekraan silindri rõhu ja muude andmete jaoks.
- Tüüp: spetsiaalne gaasijuhtimisriiul
- Materjal: SS 316L ventiilide ja torustiku komponentide jaoks
- Kasutatavad gaasid: inertgaasid (Ne, Kr, Ar, He jne)
- Gaasivarustusmeetod: gaasiballoon
- Toide: 110~240VAC
- Konfiguratsioonid: ühe-silindriga, kahe-silindriga
Spetsiaalne gaasikapp
VGC seeria
- Tüüp: erigaasikapp
- Materjal: SS 316L ventiilide ja torustiku komponentide jaoks
- Kohaldatavad gaasid: tuleohtlikud/isesüttivad{0}}gaasid, söövitavad gaasid, mürgised gaasid (nt SiH4, HCL)
- Toide: 110 ~ 240 V AC
- Korpus: korrosioonikindel{0}}keevitatud teras
- Klaasaken: automaatne-sulgumine
- Väljalasketoru: üleval-paigaldatud väljalasketoru
- Tooterakendused: ülikoolid/teaduslaborid; Tööstuslik tootmine; fotogalvaaniline päikeseenergia; Farmaatsia ja biotehnoloogia; Pooljuhtide integraallülituste tootmine
- Projekteerimisstandardid: Vastab SEMI S2 standarditele; Vastab rahvusvahelistele ehitiste tuleohutusnormidele; Maksimaalne töörõhk: 110% katserõhust
Gaasipulgade komplektid
VUP seeria
- Ülikõrge puhtusastmega gaasipulk kõikidele gaasivarustussüsteemidele
100TG: 30 slpm või vähem kui 1/4" VFS
200TG: väiksem või võrdne 300 slpm tarne 3/8"VFS
300TG: 600 slpm või vähem kui 1/2" VFS
- Toode on valmistatud vastavalt VS001A protsessi spetsifikatsioonile
- Kõrge kontrolli täpsus
- Kõik ühendused keevitatud või VFS
- Käsitsi või pneumaatilise diafragma klapi valik
- 100% heeliumi-lekke-testitud
- Sisselaskerõhk P1: 300 psig (20 baari)
- Väljundrõhk P2: Vac kuni 30/60/100/150 psig (1/2/4/7/10 baari)
- Membraanventiili materjalid: korpus 316L; Klapipesa PCTFE; Diafragma Elgiloy®
- Regulaatori materjalid: kere 316L/316L sekundaarne ümbersulatus; Klapipesa PCTFE; Diafragma Hastelloy®
- Lekkekiirus: (atmosfääri) 1x10^-9 mbar I/s He;
(istme kaudu) 1x10^-8 mbar I/s H
Surve juhtpaneelid
VUP-1U seeria
- Surve juhtpaneelid (ühepoolne tüüp)
- VSR-100UBS/UCS seeria üheastmeline regulaator
- VDV33UBS seeria õhutusmembraanid, ventiilid
- VDV33UBS seeria sisselaskeprotsessi membraanklapid
- Orbitaalkeevitatud VFS{0}}pinnatihendi ühendused
- Modulaarne disain
- Sobib sisendrõhule kuni 3500 psig (250 bar)
- Lihtne paigaldada gaasiballoonide turvakappi
- 100% heeliumi lekke testitud
- Sisendrõhk P1: max.3500 psig (250bar)
- Väljundrõhk P2: Vac kuni 10/30/60/100/150 psig (0,7/2/4/7/10 baari)
- Pinnaviimistlus: 10uin. Ra (25uin. Ra valikuline)
- Sisse- ja väljalaskeavad: 1/4" VFS-liitmik
- Temperatuurivahemik: -40 F kuni +160℉ (-40 kraadi kuni +71 kraadi)
- Vooluvõimsus: Cv=0.09 (valik Cv=0.15)
Loodud täiuslikkuse ja ohutuse tagamiseks
Iga VIGORi gaasivarustussüsteem on välja töötatud kõrgeimate standardite järgi:
- Disain ja vastavus:Tooted järgivad SEMI S2 ja rahvusvahelisi tuleohutuskoode, millesse on integreeritud ohutusfunktsioonid, nagu hädaseiskamine-ja rõhualarm.
- Tootmispuhtus:Kokkupanek ja orbitaalkeevitus viiakse läbi klassi 100 puhasruumi keskkonnas, kasutades süsteemi puhtuse ja pikaealisuse tagamiseks kõrge -terviklikkusega materjale, nagu SS 316L ja Hastelloy® C276.
- Kontrollitud terviklikkus:Iga seade läbib range 100% heeliumi lekketesti, mis tagab lekke{1}}tiheduse.
