Sama 316-liitrise roostevabast terasest torude tüki hinnad võivad mitu korda erineda. Saladus ei peitu mitte seina paksuses, vaid sisepinnas. Mida kõrgem on nõutav gaasi puhtusaste, seda rangemad on nõuded torustiku sisemisele "nahale". Kolm tähistust AP, BA ja EP esindavad kolme tööstusharu määratletud klassifikatsioonistandardit torude sisepindade jaoks.
▌Haste 1: AP – mehaaniliselt töödeldud põhiklass
AP (Acid Pickling) torud läbivad happega peitsimise, et eemaldada pinnakatlakivi ja saasteained, mille tulemuseks on suhteliselt kare sisepind. See on mõeldud üldotstarbeliste tööstuslike gaasitorustike jaoks. Selle eelised on madal hind ja lühike teostusaeg, mis sobib rakendustele, kus on vaja lahtisi osakesi ja lisandeid, nagu tavalised suruõhu- ja lämmastikupuhastusliinid.
▌Klass 2: BA – kõrge puhtusastmega erksa lõõmutatud klass
BA (Bright Annealing) torusid lõõmutatakse vesiniku atmosfääris või vaakumis, et moodustada selle pinnale tihe passiivne kile, mille sisepinna karedus on Ra＜0,4 μm. Võrreldes AP-torudega pakuvad BA-torud siledamaid pindu, paremat korrosioonikindlust ning märkimisväärselt väiksemat osakeste ja niiskuse adsorptsiooni. Seda kasutatakse laialdaselt kõrge puhtusastmega gaasi transportimisel.
▌Klass 3: EP – esmaklassiline elektro-poleeritud klass
EP (elektropoleerimis) torusid poleeritakse täiendavalt BA-töötluse alusel. Anoodina kasutatav torustik lahustatakse sisepinna tasandamiseks elektrolüüdis, mille tulemuseks on 5–10 μin Ra (umbes . 0.13–0,25 μm) karedus. Elektropoleerimine tagab peegelsileda sisepinna, kõrvaldab metallist jääkosakesed ja protsessist põhjustatud saastumise ning tekitab kroomirikka passiivse kihi – see on ülikõrge puhtusastmega pooljuhtide gaasisüsteemides kasutatavate torude kohustuslik nõue.
VIGOR – miks EP on pooljuhtide jaoks kohustuslik
Vahvlite valmistamisel võivad isegi torude seintelt leostunud väikesed metalliosakesed või niiskusmolekulid põhjustada vahvli defekte. Kare pind toimib nagu mustust püüdev käsn: see absorbeerib niiskust ja lisandeid, mis aja jooksul aeglaselt vabanevad. Seevastu sile ja tihe EP pind ei jäta kuhugi osakeste ja niiskuse kleepumist ning vähendab drastiliselt puhastus- ja vahetustsükli aega. EP-torud moodustavad esimese füüsilise barjääri, mis tagab ülikõrge puhtusastmega gaasijaotuse puhtuse.
Kolme klassi võrdlus ja vastavad VIGOR tooted
| Hinne | Protsess | Pinna karedus | Tüüpilised rakendused | VIGOR Ekvivalent |
|---|---|---|---|---|
| AP klass | Happeline marineerimine ja passiveerimine | Suhteliselt karm | Üldine tööstuslik gaasitorustik | VTUBE seeria (AP klass) |
| BA klass | Hele lõõmutamine | Ra < 0,4 μm | Kõrge puhtusastmega gaasid, elektroonilised kemikaalid | VTUBE seeria (BA klass) |
| EP klass | Elektropoleerimine | 5–10 μin. Ra | Pooljuhtide ülikõrge puhtusastmega gaasiahelad | VTUBE seeria (EP klass), VUPS ülikõrge puhtusastmega tooted |
Väärib märkimist, et materjali klass ja pinnatöötlus on kumulatiivsed spetsifikatsioonid. VIGOR VUPS ülikõrge puhtusastmega seeria: UB-mudel kasutab standardset 316L substraati 10/25 μin Ra pinnaviimistlusega; UC-mudel on uuendatud ümbersulatatud 316L substraadile, mille pinnaviimistlus on 5/7/10 μin Ra. Nii materjali puhtus kui ka pinna siledus on kõrgendatud, et optimeerida sisepinna jõudlust. Torude valimisel tuleks kaaluda ühte põhiküsimust: milline sisepinna "koore" klass vastab teie gaasi puhtuse nõuetele?
