Tööstuse ülevaade|Kui kriitiline on gaasi puhtus pooljuhtide tootmises?

Pooljuhtide tootmises valitseb- väljakujunenud konsensus: kiibi jõudluse ülemise piiri määrab konstruktsioon, samas kui tootmisvõimsuse alumine piir sõltub materjali puhtusest.

Pilt on pärit Internetist.

Alates vahvlite puhastamisest ja õhukese -kile pealekandmisest kuni söövitamiseni ja legeerimiseni – ühe 12-tollise vahvli tootmisprotsess hõlmab enam kui 30 tüüpi protsessigaase, sealhulgas silaani, ammoniaaki, lämmastiktrifluoriidi, volframheksafluoriidi, vesinikkloriidi ja palju muud. Iga gaas tuleb viia reaktsioonikambrisse ülikõrge puhtusastmega.

Gaasitorustikku sisenevad ppb-taseme lisandid (niiskus, hapnik, tahked osakesed) võivad põhjustada õhukese{0}kile defekte ja liidese saastumist, vähendades otseselt tootmismahtu. Võttes näiteks 3 nm protsessi, on iga üksiku kiibi väärtus sadu USA dollareid; ainuüksi 1% tootluse kõikumisest piisab kümnetesse miljonitesse ulatuva kasumi kustutamiseks.

Pooljuhtide tööstuses ei võrdu "kõrge puhtusastmega" sõnaga "töötlemiseks{0}}valmis". Tõeline väljakutse seisneb puhtuse säilitamises -, saastevaba-gaasi hoidmises kogu tarnetee jooksul gaasiallikast kasutuspunkti (POU).

Selle saavutamiseks töötavad koos kolm peamist kaitsemeedet:

(1) Materjali valik: Torud ja ventiili korpused on valmistatud VIM+VAR topelt ümbersulatatud 316L roostevabast terasest, et minimeerida elementide väljutamist alusmaterjalidest.

(2) Pinna viimistlus: Sisepinna karedus Ra Vähem kui 0,25 μm (10 μin.) või sellega võrdne elektropoleerimistöötlusega (EP), et vähendada tahkete osakeste adhesiooni ja niiskuse adsorptsiooni.

(3) Hermeetilise tihendi terviklikkus: Heeliumi lekkekiirus Väiksem või võrdne 1 × 10⁻⁹ atm·cc/sek, et välistada saaste sissepääsu täielikult.

VIGOR VUPS Ultra-High Purity tootesari hõlmab kogu gaasi tarneahelat, mis vastab SEMI standarditele, sealhulgas videomaki metallist esi-tihendi liitmikud, kõrge puhtusastmega membraanventiilid ja kahe-astmega rõhuregulaatorid.

Kõik tooted on kokku pandud, testitud ja topelt{0}}kott vaakum-pakitud enne saatmist klassi 100 puhastesse ruumidesse. Kliendid ei saa ainult üksikuid ventiile, vaid täielikku plug{4}}and-play ultra-kõrge puhtuse tagamise süsteemi.

VIGORi tooted on töötanud usaldusväärselt spetsiaalsetes gaasivarustussüsteemides ja CVD/PVD gaasivarustustorustikes paljudes vahvlitehases, mis ühilduvad kriitiliste protsessigaasidega, nagu silaan, lämmastiktrifluoriid ja boortrikloriid.

Pooljuhtide tootmine on lõputu võidujooks saasteainetega - ja VIGOURi missioon on tagada selle võistluse jaoks võimalikult puhas stardijoon.